使用氬離子束轟擊樣品表面進(jìn)行樣品加工，用其他方法難以制備的樣品，軟硬材質(zhì)混合的復(fù)合材料，都能夠制備出完美光滑的截面。除了表面極為平整外，被加工區(qū)域變形小、損傷小、無(wú)異物介入、結(jié)構(gòu)無(wú)破壞是其主要特點(diǎn)。
常用于樣品內(nèi)部結(jié)構(gòu)觀測(cè)或內(nèi)部組分分析樣品的處理。

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